受託分析/試験サービス・ユーロフィンEAGの技術セミナー

押さえておきたい！
TEM & SEM分析のデータ解釈

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■　ABOUT
一般的に半導体や鉄鋼・金属・先端材料などの表面や構造をナノスケールで観察するためにはSEMやTEMが用いられます。SEMは主に試料の表面をナノスケールで観察します、またTEMは試料に電子線を透過させることにより、SEMよりも高分解能での観察が可能となっています。

SEMおよびTEMは分析目的によって検出器やコントラストの使い分けが重要になってきます。ウェビナーでは分析目的ごとに、どのような検出器やコントラストが適しているかを分かりやすく説明いたします。

■　ウェビナー内容*1

• 電子顕微鏡におけるコントラストの成因
     SEMにおけるコントラスト
  　二次電子像と反射電子像
• TEM/STEMにおけるコントラスト
      TEM,STEMのコントラストの成因
      明視野と暗視野
      様々な縞模様
      欠陥 、加工のアーティファクトなど
• SEMとTEMの比較
      どちらが何に適しているのか
• 元素分析に関して
• まとめ
• 分析相談のポイント
  
  *1：内容は予期せず一部変更になることがあります。